[促銷(xiāo)] 上海BR-2000L雙級(jí)反滲透+DEI超純水設(shè)備(BR-2000L)

半導(dǎo)體晶圓清洗、基因測(cè)序試劑配制、質(zhì)譜分析等***領(lǐng)域，超純水的質(zhì)量直接決定產(chǎn)品精度與實(shí)驗(yàn)結(jié)果準(zhǔn)確性。本 3 噸 / 小時(shí)超純水設(shè)備以 “雙級(jí) RO + EDI + 終端精拋光” 創(chuàng)新工藝為核心，攻克傳統(tǒng)技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn) 18.2 MΩ?cm 的極限純度，為半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等產(chǎn)業(yè)提供 “原子級(jí)潔凈” 的用水保障，滿(mǎn)足其對(duì)超純水近乎苛刻的需求。? 一、設(shè)備核心定位：定義超純水新高度? （一）設(shè)計(jì)目標(biāo)：嚴(yán)苛指標(biāo)保障***應(yīng)用? 設(shè)備致力于生產(chǎn)達(dá)到 18.2 MΩ?cm（25℃）極限純度的超純水，各項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)均遠(yuǎn)超常規(guī)標(biāo)準(zhǔn)。電阻率≥18.2 MΩ?cm，依據(jù) ASTM D1125 標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)，該指標(biāo)反映水中離子含量極低，能避免離子對(duì)半導(dǎo)體芯片電路、精密儀器的干擾。TOC≤1 ppb，參照 USP <643> 標(biāo)準(zhǔn)，嚴(yán)格控制水中有機(jī)碳含量，防止有機(jī)物污染影響基因測(cè)序、質(zhì)譜分析的準(zhǔn)確性。? 微粒子（≥0.1μm）≤1 個(gè) /mL，遵循 SEMI F57 標(biāo)準(zhǔn)，確保水中幾乎無(wú)顆粒雜質(zhì)，滿(mǎn)足半導(dǎo)體晶圓超精密清洗需求。細(xì)菌內(nèi)毒素≤0.001 EU/mL，依據(jù)《中國(guó)藥典》1143 進(jìn)行檢測(cè)，極大降低生物污染風(fēng)險(xiǎn)，適用于生物醫(yī)藥等高要求場(chǎng)景。關(guān)鍵金屬離子（Fe/Cu）≤0.01 ppb，通過(guò) ICP-MS 檢測(cè)，有效避免金屬離子對(duì)產(chǎn)品性能的不良影響。? 核心工藝采用 “雙級(jí) RO + EDI + 終端精拋光” 組合，從原水預(yù)處理到終端凈化，層層把關(guān)，實(shí)現(xiàn) “零離子、零有機(jī)物、零微粒” 的超純水質(zhì)目標(biāo)。設(shè)備主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓清洗（28nm 以下制程）、基因測(cè)序試劑配制、質(zhì)譜分析流動(dòng)相等不可妥協(xié)的***領(lǐng)域。在半導(dǎo)體晶圓清洗中，超純水的高質(zhì)量能確保晶圓表面潔凈，提高芯片制造良率；在基因測(cè)序試劑配制中，純凈的水質(zhì)可保證測(cè)序結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。? （二）EDI 技術(shù)：超純水制備的革命性突破? EDI 技術(shù)在超純水制備中具有革命性意義。傳統(tǒng)混床采用酸堿再生方式進(jìn)行離子交換，會(huì)產(chǎn)生大量化學(xué)廢液，對(duì)環(huán)境造成污染，且存在化學(xué)殘留風(fēng)險(xiǎn)。而 EDI 技術(shù)通過(guò)離子交換膜電再生，無(wú)需使用酸堿化學(xué)試劑，實(shí)現(xiàn)零化學(xué)污染，從根源上解決了化學(xué)污染問(wèn)題。? 在產(chǎn)水穩(wěn)定性方面，傳統(tǒng)混床水質(zhì)波動(dòng)＞±2 MΩ?cm，難以滿(mǎn)足對(duì)水質(zhì)穩(wěn)定性要求極高的***領(lǐng)域。EDI 技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定產(chǎn)水，水質(zhì)波動(dòng)＜±0.1 MΩ?cm，為半導(dǎo)體芯片制造、精密儀器分析等提供穩(wěn)定可靠的超純水供應(yīng)。此外，EDI 技術(shù)中樹(shù)脂界面零摩擦，有效降低了 TOC 釋放量，相比傳統(tǒng)混床，TOC 釋放量降低 100 倍，進(jìn)一步提升了超純水的純凈度。? 二、全流程工藝深度解析：***凈化的實(shí)現(xiàn)路徑? （一）預(yù)處理系統(tǒng)：原水的***凈化前奏?

1. 超濾（UF）：超濾單元采用截留分子量為 10 kDa 的過(guò)濾膜，能夠有效去除原水中的膠體、微生物等大分子污染物，使 SDI（污染指數(shù)）≤1.0，為后續(xù)反滲透系統(tǒng)提供優(yōu)質(zhì)的進(jìn)水條件。膠體和微生物的有效去除，可防止其在反滲透膜表面附著，減少膜污染，延長(zhǎng)反滲透膜的使用壽命。?

2. 雙級(jí)軟化：一級(jí)采用納米晶循環(huán)軟化技術(shù)，能夠?qū)⑺挠捕冉档椭?le;0.1 ppm，有效去除水中的鈣鎂離子，防止反滲透膜結(jié)垢。二級(jí)通過(guò)螯合樹(shù)脂吸附，進(jìn)一步降低水中 Ca²?/Mg²?含量至≤5 ppb，確保進(jìn)入反滲透系統(tǒng)的水質(zhì)達(dá)到理想狀態(tài)，提高反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行效率和產(chǎn)水質(zhì)量。?

3. 真空脫氣：真空脫氣裝置能夠?qū)⑺械娜芙庋踅档椭?le;10 ppb，有效防止反滲透膜氧化，延長(zhǎng)膜的使用壽命。同時(shí)，將 CO?含量降低至≤0.1 ppm，減少 CO?對(duì)二級(jí) RO 效率的影響，確保反滲透系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行和高效產(chǎn)水。?

（二）雙級(jí)反滲透（RO）系統(tǒng)：高效脫鹽的核心環(huán)節(jié)?

1. 膜元件選型：一級(jí) RO 采用杜邦 Filmtec XLE 膜，脫鹽率≥99.5%，能夠有效去除原水中的大部分鹽分、有機(jī)物、細(xì)菌及病毒等污染物，使產(chǎn)水電導(dǎo)率≤5 μS/cm。二級(jí) RO 選用東麗 TML200D - 400 膜，脫鹽率≥99.8%，進(jìn)一步對(duì)一級(jí) RO 產(chǎn)水進(jìn)行深度脫鹽處理，產(chǎn)水電導(dǎo)率≤0.5 μS/cm，為后續(xù) EDI 深度純化提供優(yōu)質(zhì)進(jìn)水。?

2. 突破性設(shè)計(jì)：零死角膜殼采用 316L 材質(zhì)，配備雙 O 型圈密封，死角≤0.5D，有效防止水流死角導(dǎo)致的微生物滋生和水質(zhì)污染。濃水能量回收采用 PX - 220 壓力交換器，將濃水的壓力能回收利用，節(jié)能 35%，降低了設(shè)備的運(yùn)行成本。?

（三）電去離子（EDI）深度純化：超純水的關(guān)鍵保障?

1. 工作原理：EDI 系統(tǒng)通過(guò)離子交換樹(shù)脂對(duì)水中離子進(jìn)行吸附，同時(shí)利用電場(chǎng)作用使離子交換樹(shù)脂再生。在直流電場(chǎng)的作用下，水中的陽(yáng)離子向陰極移動(dòng)，通過(guò)陽(yáng)離子交換膜進(jìn)入濃水室；陰離子向陽(yáng)極移動(dòng)，通過(guò)陰離子交換膜進(jìn)入濃水室。同時(shí)，水分子在電場(chǎng)作用下分解成 H?和 OH?，分別對(duì)陽(yáng)離子交換樹(shù)脂和陰離子交換樹(shù)脂進(jìn)行再生，從而實(shí)現(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定的超純水制備。?

2. 性能標(biāo)桿：在理想進(jìn)水條件下（進(jìn)水電導(dǎo)率≤10μS/cm），產(chǎn)水電阻率≥15 MΩ?cm。對(duì) SiO?的去除率≥99.9%，殘留量≤0.1ppb；對(duì)硼（B）的去除率≥99.5%，殘留量≤0.05ppb，能夠有效去除水中的微量雜質(zhì)，滿(mǎn)足超純水對(duì)離子含量的嚴(yán)格要求。?

（四）終端精拋光系統(tǒng)：超純水的***凈化?

1. 核級(jí)混床柱：采用電子級(jí)樹(shù)脂（＞1.8×10?Ω），對(duì)水中殘留的微量離子進(jìn)行深度截留，確保超純水中離子含量達(dá)到極低水平，滿(mǎn)足半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域?qū)﹄x子殘留的嚴(yán)格要求。?

2. 超濾（UF）：PES 中空纖維超濾膜（0.05μm）能夠有效去除熱原和核酸酶等大分子污染物，防止其對(duì)生物醫(yī)藥產(chǎn)品、基因測(cè)序?qū)嶒?yàn)等產(chǎn)生不良影響。?

3. 紫外光催化（185nm）：利用 185nm 紫外光催化作用，將水中的 TOC 降解為 CO?和 H?O，進(jìn)一步降低水中有機(jī)碳含量，確保超純水中 TOC 達(dá)到≤1 ppb 的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。?

4. 終端除菌過(guò)濾器：采用 PTFE（疏水）材質(zhì)，能夠攔截 0.1μm 微粒，確保超純水中幾乎無(wú)顆粒雜質(zhì)，滿(mǎn)足半導(dǎo)體晶圓清洗等對(duì)微?？刂频臉O高要求。?

（五）超純水儲(chǔ)存與分配：水質(zhì)安全的***后防線(xiàn)?

1. 儲(chǔ)罐革命性設(shè)計(jì)：采用雙罐氮封循環(huán)系統(tǒng)，包括工作罐（500L）和循環(huán)緩沖罐（300L），持續(xù)通入純度≥99.999% 的氮?dú)?，使罐?nèi) O?≤0.01 ppm，隔絕空氣，防止微生物污染和水中溶解氧對(duì)超純水水質(zhì)的影響。儲(chǔ)罐內(nèi)壁采用 PVDF 內(nèi)襯 316L 材質(zhì)，金屬溶出＜1ppt，并進(jìn)行等離子體活化接枝處理，使表面接觸角＜5°，減少水與罐壁的接觸面積，防止水質(zhì)污染。?

2. 分配系統(tǒng)核心技術(shù)：分配系統(tǒng)管道內(nèi)水流速≥3 m/s，形成強(qiáng)烈的湍流狀態(tài)，有效抑制生物膜形成。管道采用 ISO 1 級(jí)潔凈管，內(nèi)壁 Ra≤0.13 μm，確保管道內(nèi)壁光滑潔凈。同時(shí)，嚴(yán)格控制死角，≤0.5D，采用隔膜閥和零死角三通，確保水流能夠充分沖洗管道各個(gè)部位，避免積水滋生微生物，保證超純水在分配過(guò)程中的水質(zhì)安全。?

三、智能控制系統(tǒng)：工業(yè) 4.0 標(biāo)準(zhǔn)的智慧運(yùn)維? （一）多維度傳感網(wǎng)絡(luò)? 設(shè)備配備多維度傳感網(wǎng)絡(luò)，采用國(guó)際***的傳感器，實(shí)現(xiàn)對(duì)關(guān)鍵參數(shù)的高精度監(jiān)測(cè)。電阻率監(jiān)測(cè)采用 Mettler Toledo InLab 731 傳感器，精度達(dá) ±0.01 MΩ?cm；TOC 監(jiān)測(cè)使用 Sievers M9 傳感器，精度為 ±0.05 ppb；溶解氧監(jiān)測(cè)采用 Hach Orbisphere 5100 傳感器，精度 ±0.1 ppb；微粒計(jì)數(shù)采用 Particle Measuring Systems 傳感器，具備 0.05μm 分辨率。這些高精度傳感器能夠?qū)崟r(shí)、準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)超純水的各項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)，為設(shè)備的精準(zhǔn)控制和穩(wěn)定運(yùn)行提供數(shù)據(jù)支持。? （二）AI 優(yōu)化算法?

1. 動(dòng)態(tài)水質(zhì)調(diào)控：通過(guò) AI 算法實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)水質(zhì)調(diào)控。以電阻率自適應(yīng)補(bǔ)償為例，當(dāng)檢測(cè)到 EDI 出口電阻率低于 18.0 MΩ?cm 時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整 EDI 電壓，提升 0.5V 電場(chǎng)強(qiáng)度，增強(qiáng)離子去除能力；同時(shí)啟動(dòng)三級(jí)混床，進(jìn)一步深度凈化水質(zhì)。整個(gè)過(guò)程自動(dòng)完成，并將數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳至云端存儲(chǔ)，確保水質(zhì)始終保持在理想狀態(tài)。?

2. 預(yù)測(cè)性維護(hù)：利用 AI 算法進(jìn)行預(yù)測(cè)性維護(hù)。通過(guò)建立 RO 膜污堵預(yù)警模型，綜合分析壓差和流量變化率，提前預(yù)測(cè) RO 膜的污堵情況，及時(shí)提醒操作人員進(jìn)行清洗或更換，避免因膜污堵導(dǎo)致產(chǎn)水質(zhì)量下降和設(shè)備故障。對(duì)于 EDI 模塊，通過(guò)電流效率衰減算法預(yù)測(cè)其使用壽命，提前做好更換準(zhǔn)備，確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行，降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。?

（三）數(shù)據(jù)合規(guī)架構(gòu)? 智能控制系統(tǒng)完全符合 SEMI E95 和 FDA 21 CFR Part 11 標(biāo)準(zhǔn)要求，具備完善的數(shù)據(jù)合規(guī)架構(gòu)。采用區(qū)塊鏈存證技術(shù)，每小時(shí)將水質(zhì)數(shù)據(jù)上鏈，確保數(shù)據(jù)不可篡改，保證數(shù)據(jù)的真實(shí)性和可靠性。同時(shí)，采用分布式存儲(chǔ)方式，將數(shù)據(jù)同時(shí)存儲(chǔ)在本地服務(wù)器和阿里云雙節(jié)點(diǎn)，確保數(shù)據(jù)不會(huì)因硬件故障或其他原因丟失，滿(mǎn)足半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等行業(yè)對(duì)數(shù)據(jù)長(zhǎng)期保存和安全性的嚴(yán)格要求。? 四、行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景性能對(duì)標(biāo)：精準(zhǔn)解決行業(yè)痛點(diǎn)? （一）半導(dǎo)體芯片制造（28nm 以下制程）? 在半導(dǎo)體芯片制造（28nm 以下制程）中，金屬離子污染會(huì)導(dǎo)致芯片電路短路，降低良率。本設(shè)備通過(guò)終端核級(jí)混床，將 Fe/Cu 等關(guān)鍵金屬離子含量控制在≤0.01ppt，有效解決金屬離子污染問(wèn)題，提高芯片制造良率。晶圓表面水痕會(huì)影響光刻精度，設(shè)備采用 180°C 超高溫點(diǎn)瞬時(shí)產(chǎn)水技術(shù)，確保 TOC≤0.5ppb，避免水痕殘留，保證光刻精度。對(duì)于光刻膠溶劑殘留問(wèn)題，設(shè)備通過(guò) 185nm UV 光催化和嚴(yán)格的 TOC 控制（＜1ppb），有效去除光刻膠溶劑殘留，確保芯片制造質(zhì)量。? （二）生物醫(yī)藥（單抗 / 細(xì)胞治療）? 在生物醫(yī)藥（單抗 / 細(xì)胞治療）領(lǐng)域，內(nèi)毒素控制至關(guān)重要。設(shè)備通過(guò)超濾（10kDa）和熱原吸附柱的組合，將內(nèi)毒素降低至≤0.0001 EU/mL，確保生物醫(yī)藥產(chǎn)品的安全性。對(duì)于 DNA / 核酸酶殘留問(wèn)題，采用正電荷修飾 UF 膜，有效去除 DNA，使其含量≤0.1 pg/mL，滿(mǎn)足生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)對(duì)核酸酶殘留的嚴(yán)格要求。? （三）分析實(shí)驗(yàn)室（LC - MS/MS）? 在分析實(shí)驗(yàn)室（LC - MS/MS）中，背景干擾會(huì)影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性。設(shè)備通過(guò)在線(xiàn)脫氣裝置將溶解氧降低至≤2 ppb，減少溶解氧對(duì)實(shí)驗(yàn)的干擾。同時(shí)，配備終端除硼柱，將硼（B）含量降低至≤0.01 ppt，消除硼元素對(duì)實(shí)驗(yàn)的背景干擾，確保質(zhì)譜分析結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。? 五、技術(shù)優(yōu)勢(shì)量化對(duì)比：顯著***傳統(tǒng)技術(shù)? 與傳統(tǒng) RO + 混床技術(shù)相比，本設(shè)備在多個(gè)方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。在電阻率穩(wěn)定性上，傳統(tǒng)技術(shù)水質(zhì)波動(dòng) ±2 MΩ?cm，而本設(shè)備水質(zhì)波動(dòng) ±0.05 MΩ?cm，提升幅度達(dá) 40 倍，能夠?yàn)閷?duì)水質(zhì)穩(wěn)定性要求極高的***領(lǐng)域提供可靠保障。噸水能耗方面，傳統(tǒng)技術(shù)為 1.8 kW?h，本設(shè)備降至 0.9 kW?h，節(jié)能 50%，降低了企業(yè)的運(yùn)行成本?；瘜W(xué)廢液排放上，傳統(tǒng)混床每月產(chǎn)生酸 / 堿液 200L，本設(shè)備實(shí)現(xiàn)零排放，符合環(huán)保要求。在微?？刂疲ǎ?.1μm）方面，傳統(tǒng)技術(shù)水中微粒數(shù)為 100 個(gè) /mL，本設(shè)備控制在≤1 個(gè) /mL，提升幅度達(dá) 99%，滿(mǎn)足半導(dǎo)體等行業(yè)對(duì)微粒的嚴(yán)格要求。? 六、設(shè)備技術(shù)規(guī)格：詳細(xì)參數(shù)與定制化能力? 設(shè)備型號(hào)為 UPW - 2000 - EP，產(chǎn)水量為 2000 L/H（25℃），峰值電阻率可達(dá) 18.25 MΩ?cm（恒溫 25℃），滿(mǎn)足大多數(shù)高要求場(chǎng)景的用水需求?？偣?le;22 kW（含氮?dú)庵苽洌?，在保證高效產(chǎn)水的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)節(jié)能運(yùn)行。設(shè)備采用模塊化撬裝設(shè)計(jì)，占地面積僅為 6m×3m，節(jié)省安裝空間，便于運(yùn)輸與安裝。噪音等級(jí)≤65 dB（1 米距離），運(yùn)行噪音低，不影響工作環(huán)境。? 針對(duì)不同地區(qū)的水質(zhì)特點(diǎn)，設(shè)備具備強(qiáng)大的定制化升級(jí)能力。對(duì)于高硼水源（＞10ppb），可升級(jí)硼特效樹(shù)脂柱，有效去除水中的硼元素，確保產(chǎn)水水質(zhì)達(dá)標(biāo)。對(duì)于 TOC 極限要求（＜0.5ppb）場(chǎng)景，可增配電子束輻照單元，進(jìn)一步降低水中 TOC 含量，滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì)超純水更高的質(zhì)量要求。? 七、驗(yàn)證與服務(wù)：全方位保障用戶(hù)需求? （一）驗(yàn)證文件包? 設(shè)備提供完整的驗(yàn)證文件包，確保設(shè)備質(zhì)量和性能符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。其中包括 SEMI F63 潔凈管道認(rèn)證，證明設(shè)備的管道系統(tǒng)符合半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)潔凈度的嚴(yán)格要求；3D 激光掃描死角報(bào)告，符合 ASME BPE - 2019 標(biāo)準(zhǔn)，確保設(shè)備管道布局無(wú)死角，防止微生物滋生；72 小時(shí)穩(wěn)定性測(cè)試報(bào)告，對(duì)電阻率、TOC、微粒等關(guān)鍵指標(biāo)進(jìn)行連續(xù)記錄，驗(yàn)證設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行過(guò)程中的穩(wěn)定性和可靠性。? （二）全生命周期服務(wù)? 為用戶(hù)提供全生命周期服務(wù)，確保設(shè)備始終處于良好運(yùn)行狀態(tài)。7×24h 遠(yuǎn)程診斷服務(wù)，通過(guò) AR 眼鏡輔助維修，能夠快速響應(yīng)用戶(hù)需求，及時(shí)解決設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中出現(xiàn)的問(wèn)題。EDI 模塊提供 5 年性能保修，讓用戶(hù)無(wú)后顧之憂(yōu)。每月提供水質(zhì)大數(shù)據(jù)分析報(bào)告，幫助用戶(hù)了解設(shè)備運(yùn)行情況和水質(zhì)變化趨勢(shì)，為用戶(hù)優(yōu)化生產(chǎn)工藝和設(shè)備維護(hù)提供數(shù)據(jù)支持。?